RF pilasima minanw ka baara kɛ ni semi-conducteurs ye
RF Plasma Equipment for Semi-Conductor Applications ye saniyalan kɛrɛnkɛrɛnnin dɔ ye min labɛnna semi-conducteurs ka pakew n’u ka yɔrɔw furakɛcogo ɲumanw kama. O minanw be ni kabini barikaman ye min dilanna ni nɛgɛ ɲuman ye, min be ban ni mugu gwɛman ye min be nɔgɔ bɔ, o min be se ka mɛn ani ka kɛ i n’a fɔ izini ka baarakɛyɔrɔ saniyanin.
Fɛɛnw ɲɛfɔli
RF Plasma Equipment for Semi-Conductor Applications ye saniyalan kɛrɛnkɛrɛnnin dɔ ye min labɛnna semi-conducteurs ka pakew n’u ka yɔrɔw furakɛcogo ɲumanw kama. O minanw be ni kabini barikaman ye min dilanna ni nɛgɛ ɲuman ye, min be ban ni mugu gwɛman ye min be nɔgɔ bɔ, o min be se ka mɛn ani ka kɛ i n’a fɔ izini ka baarakɛyɔrɔ saniyanin. A ka yɔrɔ lakolonba dilanna ni aliminiyɔmu nɛgɛw ye minw saniyanin lo kosɔbɛ ani u bonya tɛ dɔgɔya ni milimɛtiri 25 ye, o b’a to a be se ka yɔrɔw datugu koɲuman ani ka yɔrɔw sabati wagatijan kɔnɔ. O kɔnɔyɔrɔ bonya ye milimɛtiri 450 × 450 × 450 ye, ani a be ni lɛrɛn kelen ye min datugunin lo ka ban ani a janya ye milimɛtiri 410 × 430 ye. Baarakɛminanw be bila ɛlɛkitorodi pilaki kan, min be nɔrɔ ɛlɛkitorodi zira sigiyɔrɔ la plɔg-in dilan cogo fɛ, min b’a to pilasima be bɔ ka ɲɛ ani a be basigi baara wagati la.
O fɛɛrɛ be mara PLC ka yɔrɔ dɔ lo fɛ, o min b’a to i be se ka yɛlɛma yɛlɛma cogo min na bolo la ani min be kɛ a yɛrɛ ma. Operasiyɔn paramɛtiriw bɛɛ be se ka labɛn, k’u labɛn, k’u mara ani k’u kɔlɔsi wagati yɛrɛ yɛrɛ la. PID ka sɛgɛsɛgɛrikɛlan min be ɲɔgɔn kɔnɔ, o be basigi n’a ka tiɲɛntigiya sabati tugun. Fɛɛrɛ caaman be se ka mara ani k’u hakili jigi n’u mako be o la, o nafa ka bon kosɔbɛ yɔrɔw la minw ka ɲi ka to ka baarakɛcogo yɛlɛma. O yɔrɔ lakolon be baara kɛ ni pɔnpe jalen dɔ ye, min be pɔnpe teliya di, ani a ka c’a la, boon be se yɔrɔ lakolon hakɛ ma min ka ɲi ka sɔrɔ sekɔndi 100 kɔnɔ.
Fɛɛrɛ jɔnjɔnw ye pilasima ka 13,56 MHz ye, ni RF fanga ye min be se ka yɛlɛma tuma bɛɛ ka bɔ 0 la ka taga se 600 W ma. Gazi bɔli be se ka labɛn tigitigi 0 ni 200 ml/min cɛ walisa ka baarakɛcogo caaman dɛmɛ.
Ka ɲɛsin baarakɛcogo ma, o minanw lɔyɔrɔ ka bon kosɔbɛ semi-conducteurs packages la, kɛrɛnkɛrɛnniya la sanni ka wire bonding (W/B) kɛ. Pilasima saniyako be fɛnɲɛnamafagalanw bɔ ka ɲɛ ka bɔ nɛgɛw la, k’a yɔrɔw lawuli ani k’a to u be se ka jigi. O kama, nɛgɛjuru minw be ɲɔgɔn minɛ, u be sabati ani u be se ka bɔ ɲɔgɔn na cogo min na, o be dɔgɔya kosɔbɛ. O fɛɛrɛ be baarakɛminan caaman dɛmɛ ani kasɛti-sɛgɛsɛgɛli kɛcogo fila bɛɛ dɛmɛ, o min b’a to dilanbagaw be se ka baarakɛminanw yɛlɛma ka kɛɲɛ ni baarakɛminanw dilancogo n’u ka laɲinitaw ye.
A ka so dilancogo barikaman, a ka baarakɛcogo ɲuman, ani a ka baarakɛcogo ɲuman, o RF pilasima minan be fɛɛrɛ ɲuman di min be se ka la a la ani a be se ka kɛ sababu ye ka se ka yɔrɔw furakɛ cogo ɲuman na, min be se ka segi ka kɛ semi-konduktɛriw dilanni na.
Tagasogow: rf pilasima minanw ka baara kɛ ni fɛnɲɛnamafagalanw ye, Sinuwaw ka rf pilasima minanw ka ɲɛsin fɛnɲɛnamafagalanw dilanbagaw ma, izini
A’ ye ɲiningali kɛ .
